9. augustil 2022 allkirjastas president Joe Biden ametlikult kiibi ja teaduse seaduse. USA pooljuhtide tööstuse 54,2 miljardi dollari suuruse toetuse raames on seaduseelnõus selgelt öeldud, et "subsideeritud ettevõtted ei saa Hiinas ja sellega seotud riikides pooljuhtide tööstust kümne aasta jooksul oluliselt laiendada." Samal ajal moodustasid USA kiibiliidu ka teiste pooljuhttööstuse jõujaamadega, nagu Lõuna-Korea, tehes sagedasi meetmeid.
Hiina kodumaiste kiipide tulevane arendamine imporditud kiipide asendamiseks on muutunud iseenesestmõistetavaks, asjakohased tööstuslikud rakendused vajavad kiiresti arendamist. Vesitilklaser on kodumaise laserpuhastusvaldkonna liider ja teerajaja, aga ka pidevasse uurimis- ja arenduskuludesse investeerimisse, et uurida laserpuhastusmasina kasutamise võimalust kiipide tootmistööstuses, lootes kiirendada Hiina pooljuhtide arengut. tööstusele oma panuse andma.
Kiibi tootvas tööstuses on pooljuhtide puhastamine kogu tööstuses, etapid moodustavad enam kui 30 protsenti kogu tootmisprotsessist, võtmeprotsess, mis mõjutab vahvlite kvaliteeti ja kiibi jõudlust ning turupind on üle 40 miljardi. Kuigi tähtsuse ja seadmete turu ulatus ei ole nii oluline kui litograafia ja muud põhiseadmed, kuid asendamatu lülina kiibi tootmise saagile ja tootjate majanduslikule kasule on oluline mõju.
Praegu, kuna kiibi tootmisprotsess parandab jätkuvalt keerukuse taset, paranevad jätkuvalt nõuded vahvlipinna saasteainete kontrollimiseks, pärast iga litograafia, söövitamise, sadestamise ja muude korduvate protsesside etappi on vaja etapilist puhastusprotsessi. on kindel, et puhastusprotsess on kõigist protsessidest kõige sagedasem ja see suureneb tulevikus veelgi.
Kui protsessisõlm saavutab 2018. aastal 10nm, jõuavad räniplaadi nõuded puhastusparameetritele teatud kõrguseni: pinnaosakesed ja COP tihedus alla 0,1 / c㎡, pinnakriitilise metallielemendi tihedus alla 2,5 * 10⁹at / c㎡. Praegu saavad vähesed kodumaised ettevõtted teha 7 nm protsessisõlme ja nagu TSMC, Samsung jne saavad juba masstootmise 3 nm, mõjul kuni 2 nm, on puhastusnõuded ainult kõrgemad.
Praegused vahvlipuhastusmeetodid on sukeldamine, pöörlev pihusti, mehaaniline harjamine, ultraheli, megaheli, plasma, gaasifaas, kiirte vool jne, kasutades peamiselt märgpuhastuse ja keemilise puhastuse kombinatsiooni, märgpuhastus on põhivool, kuid tuleb ka materjali kerge kahjustus, näiteks graafiliste kahjustuste teke, COP (100 nm või nii õõnsus) jne, keemiline puhastus kui puhtam puhastustehnoloogia rakenduse tootmisliini osas, on perspektiivid paljulubavamad.
Laserpuhastusmasin keemilise puhastusena, vahvlite tootmisprotsessis pinna saastumisega - näiteks tolmuosakesed, metallid, orgaanilised ained, oksiidid jne on hea puhastusefektiga ja efekti täpsus on paremini kontrollitav, kuid on olemas pole enam küpseid kodumaiste rakenduste näiteid, veetilga laser, et jagada meie vahvlipinna töötlemisprotsessi aruannet, loodan, et laserpuhastuse tulevikku saab kiibi tootmisprotsessi veelgi kaasata.
Laserpuhastusmasinat kui arenevat tööstuslikku puhastustehnoloogiat pole Hiinas veel kuuldud kui näidet praktilisest rakendusest vahvlite tootmisprotsessis. Kuid esialgsetes puhastuskatsetes on näha, et laserpuhastus pooljuhtide valdkonnas on endiselt paljulubav, vahetult enne pole keegi tehnilisi eelkatseid teinud. Uurime hiljem täiendavalt laserpuhastuse võimalust kiibi tootmise rakenduses, et aidata kaasa Hiina pooljuhtide tööstuse arengule.
