Nagu me kõik teame, on maailmas ainult üks tootja, kes suudab toota EUV litograafiat, see on Hollandi ASML.
Ja põhjus, miks see on maailmas ainus, on see, et ASML-i on koondatud palju võtmetootjaid, näiteks Saksa optikafirma Zeiss (Zeiss) ja seejärel Ameerika Ühendriikide Cymer ja seejärel Saksa Tom Fast Group (TRUMPF). ) ja nii edasi.
ASML on sidunud need tootjad oma vankriga investeeringute, omandamise, aktsiate omamise, uurimiskeskuste loomise ja muu sellise kaudu ning need tootjad, tõenäoliselt ainsad tootjad maailmas, kes suudavad neid tooteid toota, nii et lõppkokkuvõttes suudab ainult ASML toota EUV litograafiat. maailmas.
Hiljuti aga jooksis ASML-i oluline tarneahel Hiinasse Shenzhenisse tehast ehitama, selle Shenzheni tütarettevõte asus elama Baoani Hiina-Saksa (Euroopa) tööstusesitlusparki.
See tootja on Saksamaa Tom Fast Group (TRUMPF), see on ASML-i EUV litograafia, maailma ainus laserallika tarnija.
TRUMPF tooted EUV litograafias, kui olulised? Esiteks lubage mul selgitada EUV litograafia põhimõtet, saate aru.
Lihtsamalt öeldes keskendub EUV litograafia põhimõte kolmele suurele süsteemile: EUV UV-valgusallikate süsteemile, objektiiviläätsede süsteemile ja tabelisüsteemile.
Spetsiifiline protsess seisneb selles, et laseriga ergastatakse äärmusliku ultraviolettvalguse lainepikkus 13,5 nm ja seejärel pärast korrigeerimist moodustatakse kontrollitud valgusvihk, misjärel see valguskiir projitseeritakse fotomaski lauale ja projitseeritakse seejärel läbi objektiivi. peegel säritustabeli külge ja lõpuks söövitas vooluring fotoresistiga kaetud räniplaadile.
Üks EUV UV-valgusallika süsteemidest saadakse pommitades tina (Sn) metallipiiska 30 kW võimsusega CO2 laseriga, aurustades selle plasmaks ja lõpuks saades 13,5 nm lainepikkusega EUV valguse.
Seda 30 kW CO2 laserit pakub TRUMPF, mis on ainus omataoline maailmas.
Ärge alahinnake seda CO2 laserit, sellel on 457 329 osa, kaabli pikkus süsteemis on kuni 7 322 meetrit ja kaal 17 090 kg, mis on EUV litograafia üks olulisemaid põhikomponente.
Nüüd jooksis TRUMPF Hiinasse tehast ehitama, kavatsus on selge, see tähendab optimistlik Hiina laserturu suhtes ja veelgi pikemas perspektiivis optimistlik Hiina litograafiaturu suhtes, tulevikus võib Hiinaga teha koostööd EUV litograafia ehitamiseks. .
Tegelikult jookseb juba rohkem kui üks ASML-i tarneahel Hiinasse tehase ehitamiseks, enne KMWE-d ja teisi tootjaid, samuti Hiinasse tehase ehitamiseks.
Praeguse suundumuse kohaselt võime optimistlikult eeldada, et ei pruugi kaua minna, kui Hiina litograafiatehnoloogia on suur samm edasi ja isegi EUV litograafia toodangu maht võib samuti oodata, kas te arvate?
